xPro – SPARC
PVD-Hartstoffbeschichtungsanlage mit PDA III*-Technologie und HiParc-Technologie (optional)
Die Hartstoff-Beschichtungsanlage xPro – SPARC ist im Bereich der industriellen Fertigung eine der fortschrittlichsten Anlagen kleiner Größe, welche über die PDA*-Technologie verfügt. Sie vereint 2 unterschiedliche Technologien in einem System: Arc-Verdampfung und Magnetronzerstäubung. Sie wurde speziell für die Abscheidung von Hochleistungshartstoffschichten, wie AlCrSiN, AlTiSiN, AlCrN, AlTiN, CrN, TiC,N, TiN und vieler anderer, entwickelt. Diese Schichten finden vielfältige Anwendungen im Bereich des Verschleiß-, Erosions- und Korrosionsschutzes, so z.B. auf veschiedensten Schneid- und Umformwerkzeugen, Spritzgußwerkzeugen, Verschleißteilen aus der Luft- und Raumfahrt, dem Automobilbau usw. Die xPro – SPARC ist auch in „gepulster“ Hochstromversion (HiParc**) verfügbar, womit höhere Beschichtungsraten, kürzere Zykluszeiten und bessere Targetausnutzung erzielt werden.
Die Hartstoffbeschichtungsanlage xPro – SPARC wird charakterisiert durch:
- Robuste Konstruktion für den industriellen Einsatz, verbunden mit hochentwickelter Vakuumtechnologie.
- Wertbeständige Fertigungsausführung in Verbindung mit fortschrittlichstem Design.
- Höchste Zuverlässigkeit aufgrund von durchdachter Konstruktion und Ausführung.
- Das breiteste Spektrum an Hartstoffbeschichtungen und Beschichtungs-Technologien zum günstigsten Preis.
- Vollautomatisiertes, rechnergestütztes Beschichtungssystem mit der Garantie für beste Prozessreproduzierbarkeit, Zuverlässigkeit und Benutzerfreundlichkeit.
- Das System mit breitester Anwendung auf kleinster Fläche.
Technische Highlights der xPro – SPARC:
PDA III*-Technologie
Magnetronzerstäuben und Arc-Verdampfung
- Kombinationsverfahren in einer Anlage zum besseren „Tailoring“ von Schichten
PDA III* „Plasma-Diffused-Arc“
- für die Abscheidung glatter und kompakter Schichten
Magnetische Lichtbogenführung MACIII*
- Hohe Targetausnutzung
- Sehr stark reduzierte „micro-droplet“-Bildung
Kurze Prozeßzeiten
- Hohe Heizleistung
- Effiziente Reinigungs- und Ätzschritte
Hervorragende Schichteigenschaften
- Ausgeprägte „Interface“-Bildung
- Extrem saubere Prozeßumgebung
Einfache Handling- und Aufnahmevorrichtungen
- Einfache und sichere Kammerbeschickung
- Hohe Tragfähigkeit der Drehwagen
Software Design
- Extrem intuitive, einfache Nutzung
- Gewährleistung höchster Reproduzierbarkeit
- Höchste Flexibilität für kundenspezifische Beschichtungslösungen
- Fernbedienung und -diagnostik
Intensives Thermomanagement
- Intensive Wasserkühlung
- Doppelwandige Kammerkonstruktion
Erstklassige Bauteile
- Verwendung von Bauteilen renommierter Hersteller
- Durchdachte Integration
System Daten
| Größe Vakuumkammer | 680 × 650 × 1.150 mm (L × B × H) |
| Beschichtbares Volumen | 350 × 720 mm (Ø × H) |
| Anzahl Substratträger | 2 |
| Größe Dreheinrichtung Substratträger | 480 × 430 × 1.015 mm (L × B × H) |
| Pumpstand | 2 zweistufige Drehschieberpumpen 1 Turbomolekularpumpe |
| Verdampfer | 2 großflächige Lichtbogenverdampfer |
| Stromversorgungen | 2 Lichtbogenversorgungen @ 210 A optional: 400 A gepulst (HiParc**) 1 dc Biasstromversorgung zu 10 kW 1 dc Sputterstromversorgung zu 20 kW |
| Heizung | 1 Heizpanele zu 12 kW |
| Gesamtabmaße | 3.370 × 1.635 × 2.220 mm (L × B × H) |
| Stromanschluß | 90 kW, 400 V, 3 ph + N, 50/60 Hz |
Systemkapazität
| Plasmavolumen | 350 × 720 mm (Ø × H) |
| Schaftfräser Ø 4 × 50 mm | 1.340 St. |
| Schaftfräser Ø 12 × 75 mm | 480 St. |
| WSP ½″ x ½″ x 4 mm | 2.800 St. |
| Wälzfräser Ø 80 × 80 mm | 72 St. |
| Wälzfräser Ø 100 × 100 mm | 42 St. |
* PDA = Plasma-Diffused-Arc
**HiParc = High Power Pulsed Arc