xPro – SPARC

PVD-Hartstoffbe­schichtungs­anlage mit PDA III*-Technologie und HiParc-Technologie (optional)

Die Hartstoff-Beschichtungsanlage xPro – SPARC ist im Bereich der industriellen Fertigung eine der fortschrittlichsten Anlagen kleiner Größe, welche über die PDA*-Technologie verfügt. Sie vereint 2 unterschiedliche Technologien in einem System: Arc-Verdampfung und Magnetronzerstäubung. Sie wurde speziell für die Abscheidung von Hochleistungshartstoffschichten, wie AlCrSiN, AlTiSiN, AlCrN, AlTiN, CrN, TiC,N, TiN und vieler anderer, entwickelt. Diese Schichten finden vielfältige Anwendungen im Bereich des Verschleiß-, Erosions- und Korrosionsschutzes, so z.B. auf veschiedensten Schneid- und Umformwerkzeugen, Spritzgußwerkzeugen, Verschleißteilen aus der Luft- und Raumfahrt, dem Automobilbau usw. Die xPro – SPARC ist auch in „gepulster“ Hochstromversion (HiParc**) verfügbar, womit höhere Beschichtungsraten, kürzere Zykluszeiten und bessere Targetausnutzung erzielt werden.

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xPro – SPARC

Die Hartstoff­beschichtungs­anlage xPro – SPARC wird charakterisiert durch:

  • Robuste Konstruktion für den industriellen Einsatz, verbunden mit hochentwickelter Vakuumtechnologie.
  • Wertbeständige Fertigungsausführung in Verbindung mit fortschrittlichstem Design.
  • Höchste Zuverlässigkeit aufgrund von durchdachter Konstruktion und Ausführung.
  • Das breiteste Spektrum an Hartstoffbeschichtungen und Beschichtungs-Technologien zum günstigsten Preis.
  • Vollautomatisiertes, rechnergestütztes Beschichtungssystem mit der Garantie für beste Prozessreproduzierbarkeit, Zuverlässigkeit und Benutzerfreundlichkeit.
  • Das System mit breitester Anwendung auf kleinster Fläche.

Technische Highlights der xPro – SPARC:

PDA III*-Technologie

 

Magnetronzerstäuben und Arc-Verdampfung
  • Kombinationsverfahren in einer Anlage zum besseren „Tailoring“ von Schichten
PDA III* „Plasma-Diffused-Arc“
  • für die Abscheidung glatter und kompakter Schichten
Magnetische Lichtbogenführung MACIII*
  • Hohe Targetausnutzung
  • Sehr stark reduzierte „micro-droplet“-Bildung
Kurze Prozeßzeiten
  • Hohe Heizleistung
  • Effiziente Reinigungs- und Ätzschritte
Hervorragende Schichteigenschaften
  • Ausgeprägte „Interface“-Bildung
  • Extrem saubere Prozeßumgebung
Einfache Handling- und Aufnahmevorrichtungen
  • Einfache und sichere Kammerbeschickung
  • Hohe Tragfähigkeit der Drehwagen
Software Design
  • Extrem intuitive, einfache Nutzung
  • Gewährleistung höchster Reproduzierbarkeit
  • Höchste Flexibilität für kundenspezifische Beschichtungslösungen
  • Fernbedienung und -diagnostik
Intensives Thermomanagement
  • Intensive Wasserkühlung
  • Doppelwandige Kammerkonstruktion
Erstklassige Bauteile
  • Verwendung von Bauteilen renommierter Hersteller
  • Durchdachte Integration

System Daten

Größe Vakuumkammer 680 × 650 × 1.150 mm (L × B × H)
Beschichtbares Volumen 350 × 720 mm (Ø × H)
Anzahl Substratträger 2
Größe Dreheinrichtung Substratträger 480 × 430 × 1.015 mm (L × B × H)
Pumpstand 2 zweistufige Drehschieberpumpen
1 Turbomolekularpumpe
Verdampfer 2 großflächige Lichtbogenverdampfer
Stromversorgungen 2 Lichtbogenversorgungen @ 210 A
optional: 400 A gepulst (HiParc**)
1 dc Biasstromversorgung zu 10 kW
1 dc Sputterstromversorgung zu 20 kW
Heizung 1 Heizpanele zu 12 kW
Gesamtabmaße 3.370 × 1.635 × 2.220 mm (L × B × H)
Stromanschluß 90 kW, 400 V, 3 ph + N, 50/60 Hz

Systemkapazität

Plasmavolumen 350 × 720 mm (Ø × H)
Schaftfräser Ø 4 × 50 mm 1.340 St.
Schaftfräser Ø 12 × 75 mm 480 St.
WSP ½″ x ½″ x 4 mm 2.800 St.
Wälzfräser Ø 80 × 80 mm 72 St.
Wälzfräser Ø 100 × 100 mm 42 St.

* PDA = Plasma-Diffused-Arc
**HiParc = High Power Pulsed Arc