xPro – M3
PVD-Hartstoffbeschichtungsanlage mit PDA III*-Technologie und HiParc-Technologie (optional)
Die Hartstoffbeschichtungsanlage xPro – M3 ist im Bereich der industriellen Fertigung eine der fortschrittlichsten Anlagen mittlerer Größe, welche über die PDA*-Technologie verfügt. Sie wurde speziell für die Abscheidung von Hochleistungshartstoffschichten, wie AlCrSiN, AlTiSiN, AlCrN, AlTiN, CrN, TiC,N, TiN und vieler anderer, entwickelt. Diese Schichten, welche mittels Arc-Verdampfung erzeugt werden, finden vielfältige Anwendungen im Bereich des Verschleiß-, Erosions- und Korrosionsschutzes, so z.B. auf veschiedensten Schneid- und Umformwerkzeugen, Spritzgußwerkzeugen, Verschleißteilen aus der Luft- und Raumfahrt, dem Automobilbau usw. Die xPro – M3 ist auch als xPro – M3H in „gepulster“ Hochstromversion (HiParc**) verfügbar, womit höhere Beschichtungsraten, kürzere Zykluszeiten und bessere Targetausnutzung erzielt werden.
Die Hartstoffbeschichtungsanlage xPro – M3 wird charakterisiert durch:
- Robuste Konstruktion für den industriellen Einsatz, verbunden mit hochentwickelter Vakuumtechnologie.
- Wertbeständige Fertigungsausführung in Verbindung mit fortschrittlichstem Design.
- Höchste Zuverlässigkeit aufgrund von durchdachter Konstruktion und Ausführung.
- Das breiteste Spektrum an Hartstoffbeschichtungen und Beschichtungstechnologien zum günstigsten Preis.
- Vollautomatisiertes, rechnergestütztes Beschichtungssystem mit der Garantie für beste Prozessreproduzierbarkeit, Zuverlässigkeit und Benutzerfreundlichkeit.
- Das System mit breitester Anwendung auf kleinster Fläche.
Technische Highlights der xPro – M3:
PDA III*-Technologie
- PDA III* „Plasma-Diffused-Arc“ für die Abscheidung glatter und kompakter Schichten
Magnetische Lichtbogenführung MACIII*
- Hohe Targetausnutzung
- Sehr stark reduzierte „micro-droplet“-Bildung
Kurze Prozeßzeiten
- Hohe Heizleistung
- Effiziente Reinigungs- und Ätzschritte
Hervorragende Schichteigenschaften
- Ausgeprägte „Interface“-Bildung
- Extrem saubere Prozeßumgebung
Einfache Handling- und Aufnahmevorrichtungen
- Einfache und sichere Kammerbeschickung
- Hohe Tragfähigkeit der Drehwagen
Software Design
- Extrem intuitive, einfache Nutzung
- Gewährleistung höchster Reproduzierbarkeit
- Höchste Flexibilität für kundenspezifische Beschichtungslösungen
- Fernbedienung und -diagnostik
Intensives Thermomanagement
- Intensive Wasserkühlung
- Doppelwandige Kammerkonstruktion
Erstklassige Bauteile
- Verwendung von Bauteilen renommierter Hersteller
- Durchdachte Integration
System Daten
| Größe Vakuumkammer | 860 × 860 × 1.150 mm (L × B × H) |
| Beschichtbares Volumen | 520 × 720 mm (Ø × H) |
| Anzahl Substratträger | 2 |
| Größe Dreheinrichtung Substratträger | 660 × 650 × 1.015 mm (L × B × H) |
| Pumpstand | 2 zweistufige Drehschieberpumpen 1 Rootspumpe 1 Turbomolekularpumpe |
| Verdampfer | 3 großflächige Lichtbogenverdampfer |
| Stromversorgungen | 3 Lichtbogenversorgungen @ 210 A optional: 400 A gepulst (HiParc**) 1 dc Biasstromversorgung zu 15 kW |
| Heizung | 3 Heizpanele zu je 12 kW |
| Gesamtabmaße | 3.650 × 1.615 × 2.220 mm (L × B × H) |
| Stromanschluß | 100 kW, 400 V, 3 ph + N, 50/60 Hz |
Systemkapazität
| Plasmavolumen | 520 × 740 mm (Ø × H) |
| Schaftfräser Ø 4 × 50 mm | 2.100 St. |
| Schaftfräser Ø 12 × 75 mm | 720 St. |
| WSP ½″ x ½″ x 4 mm | 4.400 St. |
| Wälzfräser Ø 80 × 80 mm | 128 St. |
| Wälzfräser Ø 100 × 100 mm | 78 St. |
*PDA = Plasma-Diffused-Arc
**HiParc = High Power Pulsed Arc