xPro – L4
PVD-Hartstoffbeschichtungsanlage mit PDA III*-Technologie und HiParc-Technologie (optional)
Die Hartstoffbeschichtungsanlage xPro – L4 ist im Bereich der industriellen Fertigung eine der fortschrittlichsten Anlagen und eine der größten Standardanlagen, welche über die PDA*-Technologie verfügt. Sie wurde speziell für die Abscheidung von Hochleistungshartstoffschichten, wie AlCrSiN, AlTiSiN, AlCrN, AlTiN, CrN, TiC,N, TiN und vieler anderer, entwickelt. Diese Schichten, welche mittels Arc-Verdampfung erzeugt werden, finden vielfältige Anwendungen im Bereich des Verschleiß-, Erosions- und Korrosionsschutzes, so z.B. auf veschiedensten Schneid- und Umformwerkzeugen, Spritzgußwerkzeugen, Verschleißteilen aus der Luft- und Raumfahrt, dem Automobilbau usw. Die xPro – L4 ist auch als xPro – L4H in „gepulster“ Hochstromversion (HiParc**) verfügbar, womit höhere Beschichtungsraten, kürzere Zykluszeiten und bessere Targetausnutzung erzielt werden.
Die Hartstoffbeschichtungsanlage xPro – L4 wird charakterisiert durch:
- Robuste Konstruktion für den industriellen Einsatz, verbunden mit hochentwickelter Vakuumtechnologie.
- Wertbeständige Fertigungsausführung in Verbindung mit fortschrittlichstem Design.
- Höchste Zuverlässigkeit aufgrund von durchdachter Konstruktion und Ausführung.
- Das breiteste Spektrum an Hartstoffbeschichtungen und Beschichtungstechnologien zum günstigsten Preis.
- Vollautomatisiertes, rechnergestütztes Beschichtungssystem mit der Garantie für beste Prozessreproduzierbarkeit, Zuverlässigkeit und Benutzerfreundlichkeit.
- Das System mit breitester Anwendung auf kleinster Fläche.
Technische Highlights der xPro – L4:
PDA III*-Technologie
- PDA III* „Plasma-Diffused-Arc“ für die Abscheidung glatter und kompakter Schichten
Magnetische Lichtbogenführung MACIII*
- Hohe Targetausnutzung
- Sehr stark reduzierte „micro-droplet“-Bildung
Kurze Prozeßzeiten
- Hohe Heizleistung
- Effiziente Reinigungs- und Ätzschritte
Hervorragende Schichteigenschaften
- Ausgeprägte „Interface“-Bildung
- Extrem saubere Prozeßumgebung
Einfache Handling- und Aufnahmevorrichtungen
- Einfache und sichere Kammerbeschickung
- Hohe Tragfähigkeit der Drehwagen
Software Design
- Extrem intuitive, einfache Nutzung
- Gewährleistung höchster Reproduzierbarkeit
- Höchste Flexibilität für kundenspezifische Beschichtungslösungen
- Fernbedienung und -diagnostik
Intensives Thermomanagement
- Intensive Wasserkühlung
- Doppelwandige Kammerkonstruktion
Erstklassige Bauteile
- Verwendung von Bauteilen renommierter Hersteller
- Durchdachte Integration
System Daten
| Größe Vakuumkammer | 1000 × 1000 × 1.150 mm (L × B × H) |
| Beschichtbares Volumen | 710 × 720 mm (Ø × H) |
| Anzahl Substratträger | 2 |
| Größe Dreheinrichtung Substratträger | 820 × 820 × 1.015 mm (L × B × H) |
| Pumpstand | 2 zweistufige Drehschieberpumpen 1 Rootspumpe 1 Turbomolekularpumpe |
| Verdampfer | 4 großflächige Lichtbogenverdampfer |
| Stromversorgungen | 4 Lichtbogenversorgungen @ 210 A optional: 400 A gepulst (HiParc**) 1 dc Biasstromversorgung zu 15 kW |
| Heizung | 4 Heizpanele zu je 12 kW |
| Gesamtabmaße | 3.650 × 1.615 × 2.220 mm (L × B × H) |
| Stromanschluß | 120 kW, 400 V, 3 ph + N, 50/60 Hz |
Systemkapazität
| Plasmavolumen | 710 × 740 mm (Ø × H) |
| Schaftfräser Ø 4 × 50 mm | 3.670 St. |
| Schaftfräser Ø 12 × 75 mm | 1.260 St. |
| WSP ½″ x ½″ x 4 mm | 7.700 St. |
| Wälzfräser Ø 80 × 80 mm | 224 St. |
| Wälzfräser Ø 100 × 100 mm | 108 St. |
*PDA = Plasma-Diffused-Arc
**HiParc = High Power Pulsed Arc