xPro – 2500 HiParc
PVD-Hartstoffbeschichtungsanlage mit HiParc*-Technologie und PDA III**
Die Hartstoffbeschichtungsanlage xPro – 2500 HiParc ist eine fortschrittlichsten Anlagen im industriellen Bereich zur Beschichtung von Großwerkzeugen. Die xPro – 2500 HiParc verwendet mit mehreren großflächigen Arc-Verdampungsquellen die industrietaugliche gepulste HiParc-Technologie, womit höhere Beschichtungsraten, kürzere Zykluszeiten und bessere Targetausnutzung erzielt werden.
Aufbau und Konstruktion des Systems erfüllen insbesondere die Anforderungen zur Beschichtung zylindrischer oder gezahnter Bauteile, wie z.B. Räumwerkzeugen von bis zu 2,3 m Länge, sowie Wälzfräsern, Formfräsern oder Schaftwerkzeugen.
Die xPro – 2500 HiParc wurde speziell für die Abscheidung von Hochleistungshartstoffschichten, wie Titannitriden (TiN), Titan-Carbonnitriden (TiC,N) und Aluminium-Titannitriden (AlTiN), Aluminium-Chromnitriden (AlCrN), Si-dotierten Schichten (TiSiN, AlTiSiN, AlCrSiN, AlTiCrSiN) und vieler anderer, entwickelt.
Die Hartstoffbeschichtungsanlage xPro – 2500 HiParc wird charakterisiert durch:
- Robuste Konstruktion für den industriellen Einsatz, verbunden mit hochentwickelter Vakuumtechnologie.
- Wertbeständige Fertigungsausführung in Verbindung mit fortschrittlichstem Design.
- Höchste Zuverlässigkeit aufgrund von durchdachter Konstruktion und Ausführung.
- Das breiteste Spektrum an Hartstoffbeschichtungen und Beschichtungstechnologien zum günstigsten Preis.
- Vollautomatisiertes, rechnergestütztes Beschichtungssystem mit der Garantie für beste Prozessreproduzierbarkeit, Zuverlässigkeit und Benutzerfreundlichkeit.
- Das System mit breitester Anwendung auf kleinster Fläche.
- Schnellstmögliche Verfügbarkeit und Produktionsfähigkeit direkt nach Anlieferung.
Technische Highlights der xPro – 2500 HiParc:
“HiParc” (=High Power Pulsed Arc Evaporation) und “PDA III” (=Plasma-Diffused-Arc) – Technologie
- Dichtere und kompaktere Schichtsysteme
- Glattere Schichtoberflächen und geringere Oberflächenrauigkeit
- Kürzere Prozesszeiten
- Höhere Targetausnutzung
Magnetische Lichtbogenführung MACIII
- Hohe Targetausnutzung
- Sehr stark reduzierte „micro-droplet“-Bildung
Kurze Prozeßzeiten
- Hohe Heizleistung
- Effiziente Reinigungs- und Ätzschritte
Hervorragende Schichteigenschaften
- Ausgeprägte „Interface“-Bildung
- Extrem saubere Prozeßumgebung
Ausgereifte Multilayer-Technologie
- Nano-strukturierte Multilayer-technology
Einfache Handling- und Aufnahmevorrichtungen
- Einfache und sichere Kammerbeschickung
- Hohe Tragfähigkeit der Drehwagen
Software Design
- Extrem intuitive, einfache Nutzung
- Gewährleistung höchster Reproduzierbarkeit
- Höchste Flexibilität für kundenspezifische Beschichtungslösungen
- Fernbedienung und -diagnostik
Intensives Thermomanagement
- Intensive Wasserkühlung
- Doppelwandige Kammerkonstruktion
Erstklassige Bauteile
- Verwendung von Bauteilen renommierter Hersteller
- Durchdachte Integration
System Daten
| Größe Vakuumkammer | 880 x 880 x 2.500 mm (W x B x H), Beladetür 800 x 2.500 mm (W x H) |
| Beschichtbares Volumen | 520 x 2.000 mm (B x H) |
| Pumpstand |
3 zweistufige Drehschieberpumpen |
| Verdampfer |
6 großflächige Lichtbogenverdampfer |
| Stromversorgungen |
6 Lichtbogenversorgungen @ 400 A gepulst für HiParc-Prozess |
| Heizung | 6 Heizpanele zu je 12 kW |
| Gesamtabmaße | 1.400 x 4.200 x 3.000 mm (B x L x H) |
|
Dreheinrichtung |
D = 520 mm, 4-Spindeln D = 200 mm |
* HiParc = High Power Pulsed Arc
** PDA III = Plasma Diffused Arc