xPro – L4

PVD-Hartstoff­beschichtungs­anlage mit PDA III*-Technologie und HiParc-Technologie (optional)

Die Hartstoffbeschichtungsanlage xPro – L4 ist im Bereich der industriellen Fertigung eine der fortschrittlichsten Anlagen und eine der größten Standardanlagen, welche über die PDA*-Technologie verfügt. Sie wurde speziell für die Abscheidung von Hochleistungshartstoffschichten, wie AlCrSiN, AlTiSiN, AlCrN, AlTiN, CrN, TiC,N, TiN und vieler anderer, entwickelt. Diese Schichten, welche mittels Arc-Verdampfung erzeugt werden, finden vielfältige Anwendungen im Bereich des Verschleiß-, Erosions- und Korrosionsschutzes, so z.B. auf veschiedensten Schneid- und Umformwerkzeugen, Spritzgußwerkzeugen, Verschleißteilen aus der Luft- und Raumfahrt, dem Automobilbau usw. Die xPro – L4 ist auch als xPro – L4H in „gepulster“ Hochstromversion (HiParc**) verfügbar, womit höhere Beschichtungsraten, kürzere Zykluszeiten und bessere Targetausnutzung erzielt werden.

l pvt anlage xpro l4
xPro – L4

Die Hartstoff­beschichtungs­anlage xPro – L4 wird charakterisiert durch:

  • Robuste Konstruktion für den industriellen Einsatz, verbunden mit hochentwickelter Vakuumtechnologie.
  • Wertbeständige Fertigungsausführung in Verbindung mit fortschrittlichstem Design.
  • Höchste Zuverlässigkeit aufgrund von durchdachter Konstruktion und Ausführung.
  • Das breiteste Spektrum an Hartstoffbeschichtungen und Beschichtungstechnologien zum günstigsten Preis.
  • Vollautomatisiertes, rechnergestütztes Beschichtungssystem mit der Garantie für beste Prozessreproduzierbarkeit, Zuverlässigkeit und Benutzerfreundlichkeit.
  • Das System mit breitester Anwendung auf kleinster Fläche.

Technische Highlights der xPro – L4:

PDA III*-Technologie
  • PDA III* „Plasma-Diffused-Arc“ für die Abscheidung glatter und kompakter Schichten
Magnetische Lichtbogenführung MACIII*
  • Hohe Targetausnutzung
  • Sehr stark reduzierte „micro-droplet“-Bildung
Kurze Prozeßzeiten
  • Hohe Heizleistung
  • Effiziente Reinigungs- und Ätzschritte
Hervorragende Schichteigenschaften
  • Ausgeprägte „Interface“-Bildung
  • Extrem saubere Prozeßumgebung
Einfache Handling- und Aufnahmevorrichtungen
  • Einfache und sichere Kammerbeschickung
  • Hohe Tragfähigkeit der Drehwagen
Software Design
  • Extrem intuitive, einfache Nutzung
  • Gewährleistung höchster Reproduzierbarkeit
  • Höchste Flexibilität für kundenspezifische Beschichtungslösungen
  • Fernbedienung und -diagnostik
Intensives Thermomanagement
  • Intensive Wasserkühlung
  • Doppelwandige Kammerkonstruktion
Erstklassige Bauteile
  • Verwendung von Bauteilen renommierter Hersteller
  • Durchdachte Integration

System Daten

Größe Vakuumkammer 1000 × 1000 × 1.150 mm (L × B × H)
Beschichtbares Volumen 710 × 720 mm (Ø × H)
Anzahl Substratträger 2
Größe Dreheinrichtung Substratträger 820 × 820 × 1.015 mm (L × B × H)
Pumpstand 2 zweistufige Drehschieberpumpen
1 Rootspumpe
1 Turbomolekularpumpe
Verdampfer 4 großflächige Lichtbogenverdampfer
Stromversorgungen 4 Lichtbogenversorgungen @ 210 A
optional: 400 A gepulst (HiParc**)
1 dc Biasstromversorgung zu 15 kW
Heizung 4 Heizpanele zu je 12 kW
Gesamtabmaße 3.650 × 1.615 × 2.220 mm (L × B × H)
Stromanschluß 120 kW, 400 V, 3 ph + N, 50/60 Hz

Systemkapazität

Plasmavolumen 710 × 740 mm (Ø × H)
Schaftfräser Ø 4 × 50 mm 3.670 St.
Schaftfräser Ø 12 × 75 mm 1.260 St.
WSP ½″ x ½″ x 4 mm 7.700 St.
Wälzfräser Ø 80 × 80 mm 224 St.
Wälzfräser Ø 100 × 100 mm 108 St.

*PDA = Plasma-Diffused-Arc
**HiParc = High Power Pulsed Arc